Лаборатория
Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Институт проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов Российской академии наук
142432,Россия, Московская область, Ногинский район, г. Черноголовка, ул. Академика Осипьяна, д. 6, ИПТМ РАН